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詳細介紹
日立SU-8010 二手掃描電鏡特點：
1. 優秀的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達1.3nm
2. 日立的ExB設計，不需噴鍍，可以直接觀測不導電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能
6. 標配有冷指、電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成
日立SU-8010 二手掃描電鏡主要技術指標：
二次電子分辨率1.0nm（加速電壓15kV、WD＝4mm）1.3nm（加速電壓1kV、WD＝1.5mm）加速電壓 0.1～30kV觀測倍率 20～8000,000(底片輸出)60～2,000,000樣品臺馬達驅動 3軸馬達行程 X 0～50mmY 0～50mmZ 360°T -5～70°R 1.5～30mm最大裝載尺寸 100mm（最大）
主要功能：
Hitachi SU-8010場發射掃描電鏡采用了新型ExB式探測器和電子束減速功能,提高了圖象質量(15 kV下分辨率1 nm)，尤其是將低加速電壓下的圖象質量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm)；新型的透鏡系統，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距離模式等多種工作模式，使其能夠精確和清楚地捕捉最短暫的瞬間。
項目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
二次電子分辨率 | 1.0nm （加速電壓15kV、WD＝4mm） | |||||||
1.3nm （加速電壓1kV、WD＝1.5mm） | ||||||||
加速電壓 | 0.1～30kV | |||||||
觀測倍率 | 20～8000,000(底片輸出) | |||||||
60～2,000,000（顯示器輸出） | ||||||||
樣品臺 | ||||||||
馬達驅動 | 5軸 | REGULUS樣品臺 | ||||||
行程 | X | 0～50mm | 0～110mm | |||||
Y | 0～50mm | 0～110mm | 0～80mm | |||||
Z | 360° | |||||||
T | -5～70° | |||||||
R | 1.5～30mm | 1.5～40mm | ||||||
zui大裝載尺寸 | 100mm（zui大） | 150mm（zui大） | 150mm（zui大） | |||||
150mm（選配） | 200mm（選配） | |||||||
探頭 | ||||||||
標配 | Lower | 高立體感圖像 | ||||||
Upper | 高分辨SE、LA-BSE圖像 | |||||||
Top | SE的電位襯度像、HA-BSE圖像 | |||||||
| STEM | 明場像、暗場像 | ||||||
YAG 探頭 | BSE圖像 | |||||||
半導體探頭 | BSE圖像 | |||||||
EBIC | 電子束感生電流圖像 | |||||||
EDS | 元素分析 | |||||||
反污染措施 | ||||||||
冷指 | 標配 | |||||||
物鏡光闌 | 內置自清潔功能 | |||||||
電子槍 | 內置加熱器 | |||||||
真空系統 | ||||||||
離子泵 | 3臺 | |||||||
分子泵 | 1臺 | |||||||
機械泵 | 1臺 | |||||||
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