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CCQ型氣動超高真空插板閥是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執行氣缸驅動閥板作上下運動，達到閥門的開啟或關閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號裝置。 主要技術性能 | 適用范圍 | 105～1.3×10-7Pa | | 閥門漏率 | ≤1.3×10-7Pa.L/S.（DN≤200）
≤6.7×10-7Pa.L/S.（DN≥250） | | 適用溫度 | -30～+150℃ | | 閥門開啟時閥板兩側的壓差 | ≤2.7×103Pa. | | 氣源壓力 | 0.4～0.6MPa | 主要零件材料 閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管（軸封）、丁腈橡膠。 外形及連接尺寸（mm） | Model
型號 | DN | A | H | D | Do | D1 | D2 | D3 | L | L1 | G | E | n-d | 法蘭標準 | | CCQ-50 | 50 | 60 | 92 | 89 | 72.4 | 61.6 | 55.6 | | 515 | 153 | 220 | 65 | 8-M8 | GB6071 | | CCQ-63 | 63 | 65 | 105 | 114 | 92.1 | 82.6 | 76.6 | | 566 | 180 | 220 | 80 | 8-M8 | | CCQ-80 | 80 | 65 | 130 | 130 | 110 | 99 | 93 | | 603 | 200 | 220 | 80 | 16-M8 | | CCQ-100 | 100 | 70 | 152 | 152 | 130.2 | 120.7 | 114.7 | | 653 | 267 | 220 | 95 | 16-M8 | | CCQ-150 | 150 | 70 | 202 | 202 | 181 | 171.5 | 165.5 | | 771 | 350 | 270 | 95 | 20-M8 | | CCQ-200 | 200 | 80 | 251 | 253 | 231.8 | 222.3 | 216.6 | | 889 | 424 | 270 | 115 | 24-M8 | | CCQ-250 | 250 | 85 | 300 | 314 | 288 | 308 | 275 | 271 | 1127 | 574 | 350 | 140 | 24-M10 | JB5278 | | CCQ-300 | 300 | 85 | 352 | 365 | 338 | 353 | 323 | 318 | 1197 | 613 | 420 | 140 | 32-M10 | | | CCQ-320 | 320 | 85 | 372 | 385 | 357 | 379 | 344 | 340 | 1197 | 613 | 440 | 140 | 36-M10 | JB5278 | | CCQ-400 | 400 | 110 | 456 | 497 | 454 | 480 | 440 | 436 | 1666 | 810 | 536 | 180 | 36-M12 | | CCQ-500 | 500 | 135 | 595 | 590 | 555 | 580 | 540 | 536 | 1835 | 870 | 640 | 220 | 40-M12 | | CCQ-630 | 630 | 135 | 690 | 700 | 658 | 680 | 639 | 635 | 1930 | 960 | 780 | 280 | 40-M16 | | CCQ-800 | 800 | 150 | 880 | 890 | 855 | 880 | 835 | 831 | 2200 | 1100 | 950 | 350 | 60-M16 |
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