hpAFM 原子力顯微鏡

掃描儀

• XY 掃描范圍選項：10μm / 100μm，24 位分辨率

• Z 掃描范圍選項：5μm / 15μm，24 位分辨率

• 分辨率：0.01nm

• 采用 XYZ 閉環(huán)操作

• 真空樣品架，可容納最大 8 英寸晶圓

• Z 掃描儀解耦

• 最多可承載 500 克樣品

Z 電動載物臺

• 行程 50mm，分辨率 250nm

XY 電動載物臺

• 行程 76mm，分辨率 50nm

原子力顯微鏡模塊

• 射頻調(diào)制低噪聲 635nm 激光器

• 噪聲底最大 25 fm/√Hz

• 超尖銳懸臂搭配，磁分辨率 < 14nm

• 視頻顯微鏡：10 倍物鏡，數(shù)值孔徑 0.28，電動對焦；光學分辨率 1μm；電動光學變焦 1 - 5 倍；800 萬像素 CMOS 攝像頭；軟件可調(diào)白色光源；側(cè)視攝像頭

聲學與振動隔離

• 聲學、熱學及振動隔離艙

• 可選配氣氛控制隔離艙

• XYZ 方向 0.5Hz 隔振臺

• 可在 - 30°C 至 + 350°C 間加熱和冷卻

工作模式

• 接觸模式原子力顯微鏡

• 動態(tài)模式原子力顯微鏡

• 橫向力顯微鏡

• 相位成像

• 磁力顯微鏡

• 力 - 距離曲線及光譜

• 靜電力顯微鏡

• 配備 5mHz 分辨率數(shù)字鎖相環(huán)（PLL）的非接觸式原子力顯微鏡

擴展功能

• 電流傳感原子力顯微鏡（擴展電阻原子力顯微鏡）

• 納米光刻

• 粘彈性測量

• 粘附力成像

• 導(dǎo)電原子力顯微鏡

• 掃描開爾文探針顯微鏡

• 力調(diào)制顯微鏡

• 帶電位儀的電化學原子力顯微鏡

• 壓電響應(yīng)力顯微鏡

• 封閉液槽原子力顯微鏡

• 納米壓痕和劃痕測試

• 掃描隧道顯微鏡

• 納米力學成像

• 腳本

• 動態(tài)橫向力

• 掃描微波顯微鏡

• 面內(nèi) / 面外磁場（X 方向 ±0.5T，Z 方向 ±0.12T ）

• 掃描熱顯微鏡

技術(shù)規(guī)格

• 3D 成像

• 具備圖像處理、分析及記錄功能

• 可同時進行數(shù)據(jù)采集

• 成像分辨率最高可達 8192×8192 像素

• 自動確定懸臂頻率

• 多用戶許可

• 免費軟件更新

• 24 位掃描數(shù)模轉(zhuǎn)換器

• 24 位 Z 軸數(shù)模轉(zhuǎn)換器分辨率

• 基于現(xiàn)場可編程門陣列（FPGA）的數(shù)字反饋

• 掃描隧道顯微鏡（STM）和原子力顯微鏡（AFM）反饋

• 24 位 200kHz、16 通道模數(shù)轉(zhuǎn)換器

• ±10V、16 位偏置電壓輸出

• 5mHz 分辨率數(shù)字鎖相環(huán)