Gas Mixers氣體混配器是用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子源的氣體混配器

關(guān)于Gas Mixers氣體混配器

SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 系列遠程等離子源只能接受一個氣體輸入。對于某些研究項目，用戶可能需要為 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠程等離子體源混合多種工藝氣體。此處列出的三端口氣體混配器集成了多達三個質(zhì)量流量受控氣體輸入端口、一個排氣/旁路泵端口和一個混合氣體輸出端口。氣體輸出端口應(yīng)連接到 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠程等離子清洗機上的氣體輸入端口。如果需要高純度氣體輸送，排氣/旁通泵出口提供高電導(dǎo)泵送途徑，以排空氣體管。

特征：

• 觸摸屏用戶界面

• 多達 3 個質(zhì)量流量受控的氣體輸入端口

• 用于通風(fēng)室和高速抽氣管的排氣/旁路端口。

• 不同氣體種類的流速補償

• 集成計時器

• 110~230V 通用交流電源輸入。