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TEM 樣品架真空泵站是一款高真空 TEM 樣品架儲存、泄漏檢查和等離子體清潔室
每個單元總共 6 個存儲單元
每個存儲單元都可以使用電磁閥單獨泵送或排氣。取出其中一個支架時，剩余的電池仍然可以保持在真空下。
多個存儲系統可以鏈聯以共享同一個真空泵。它還可以與 Tergeo-EM 系統共享同一真空泵。
它可以通過無油干式渦旋泵或渦輪泵站進行泵送。
真空泵與儲存站分開，易于維護，必要時可對泵進行維修。
所有金屬管均在真空下，以最大限度地減少廢氣，從而減少污染。
穩定的工作溫度略高于室溫，這有助于樣品架更快地脫氣。
Tergeo-EM：集成的獨立 TEM/SEM 等離子清洗機。
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