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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地香港特別行政區(qū)
更新時間：2025-06-24 16:42:56瀏覽次數(shù)：217次
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SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機是 SEMI-KLEEN 系列等離子體清潔器的特殊版本，用于超高真空（UHV）室和樣品清潔應(yīng)用。等離子體源主體由釬焊到不銹鋼凸緣的玻璃管構(gòu)成。所有的真空接頭都是玻璃-金屬釬焊或金屬-金屬接觸。在源體內(nèi)沒有使用聚合物密封。等離子體源的背面是 1/4 英寸的 VCR 連接器。前側(cè)法蘭為 CF2.75″（DN 40 CF）不銹鋼。
SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機有兩種控制氣體流量的方法：手動針閥或外部 MFC。SEMI-KLEEN 控制器可以驅(qū)動兩個外部 MFC 并自動混合兩種工藝氣體。如果使用外部 MFC 來控制氣體流速，則配方可以指定每個 MFC 的氣體流速。
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