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臺階儀相關知識科普

優尼康微課堂：什么是臺階儀？

臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器，也叫探針式表面輪廓儀。臺階儀測量精度較高、量程大、測量結果穩定可靠、重復性好,被廣泛應用在各行各業。

測量原理：

當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

臺階儀性能優劣取決于以下三個方面：

測試重復性、測試速度以及操作難易程度。這些因素決定了實驗數據的質量和實驗操作的效率。

在這以我們優尼康提供的一款KLA臺階儀為例，簡單介紹下，

型號：P-17

支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。

P-17是第八代臺式探針輪廓儀，是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

該系統結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備的測量穩定性。 通過式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。

P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。