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產品簡介
詳細介紹
| 使用Ionfab300Plus （LC）的HfO2 RIBD技術
注釋： 1. 邊緣有5mm的范圍，均勻性的描述見下文 2. 沉積速率達到zui大速率的50％以上時，應力和均勻性仍然可以得到保證 |
Ionfab 300Plus for HfO2 RIBD |
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