性做久久久久久坡多野结衣-性做久久久久久久久浪潮-性欲影院-性影院-国产精品线路一线路二-国产精品兄妹在线观看麻豆

北京亞科晨旭科技有限公司
中級會員 | 第7年

18263262536

當前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>微納加工平臺-圖形發生>>Hybrid Bonding 混合鍵合>> EVG 810LT Plasma ActivaEVG 810LT LowTemp 等離子激活系統

EVG 810LT LowTemp 等離子激活系統

參  考  價面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號EVG 810LT Plasma Activa

品       牌其他品牌

廠商性質生產商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 16:48:33瀏覽次數:943次

聯系我時,請告知來自 化工儀器網
同類優質產品更多>
產地類別 進口 應用領域 電子/電池
適用于SOI,MEMS,化合物半導體和先進基板鍵合的低溫等離子體活化系統; 技術數據:EVG810 LT LowTemp™等離子活化系統是具有手動操作的單腔獨立單元。 處理室允許進行異位處理(晶圓被一一激活并結合在等離子體激活室外部)。

EVG 810 LT  LowTemp™ Plasma Activation System

EVG 810LT   LowTemp™等離子激活系統

 

適用于SOIMEMS,化合物半導體和先進基板鍵合的低溫等離子體活化系統

 

技術數據

EVG810 LT LowTemp™等離子活化系統是具有手動操作的單腔獨立單元。 處理室允許進行異位處理(晶圓被一一激活并結合在等離子體激活室外部)。

 

特征

表面等離子體活化,用于低溫粘結(熔融/分子和中間層粘結)

晶圓鍵合機制中zui快的動力學

無需濕工藝

低溫退火(zui400°C)下的zui高粘結強度

適用于SOIMEMS,化合物半導體和高級基板粘接

高度的材料兼容性(包括CMOS

 

EVG810 LT技術數據

晶圓直徑(基板尺寸):50-200100-300毫米

LowTemp™等離子活化室

工藝氣體:2種標準工藝氣體(N2O2

通用質量流量控制器:自校準(高達20.000 sccm

真空系統:9x10-2 mbar

腔室的打開/關閉:自動化

腔室的加載/卸載:手動(將晶圓/基板放置在加載銷上)

可選功能

卡盤適用于不同的晶圓尺寸

無金屬離子活化

混合氣體的其他工藝氣體

帶有渦輪泵的高真空系統:9x10-3 mbar基本壓力

符合LowTemp™等離子活化粘結的材料系統

SiSi / SiSi / Si(熱氧化,Si(熱氧化)/ Si(熱氧化)

TEOS / TEOS(熱氧化)

絕緣體鍺(GeOI)的Si / Ge

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
撥打電話
在線留言
主站蜘蛛池模板: 都安| 镇雄县| 宜川县| 都昌县| 南宁市| 门头沟区| 大洼县| 沙洋县| 马尔康县| 玛纳斯县| 长治县| 彭山县| 都昌县| 武陟县| 潞西市| 嵊州市| 邹城市| 合阳县| 宁陕县| 高清| 昭通市| 涪陵区| 长春市| 五大连池市| 仁化县| 丹江口市| 富川| 新昌县| 武山县| 垦利县| 武威市| 南溪县| 淳化县| 彭山县| 汶上县| 延边| 桐庐县| 铜川市| 大兴区| 阿合奇县| 平阴县|