超純水機又稱做：超純水器，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.25兆歐。
1、原理的差異
純水機產生的水是純水， 純水又稱純凈水，是指以符合生活飲用水衛生標準的水為原水，通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當的加工方法，制得的密封于容器內，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水。市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純凈水。
超純水機是在純水機上的升華，即超純水是在純水的基礎上進一步將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水是一般工藝很難達到的程度，可以將微濾技術、超濾技術、反滲透技術、EDI技術，離子交換技術中的兩種及以上的技術，通過合理的工藝設計，設備選型，方可制造出超純水，電阻率可達18.20MΩ*cm。
2、性能的區別
電導率不同： 純水電導率在2-10us/cm之間，超純水的電導率為0.056us/cm；
制造的難易程度不同： 目前市場上使用的純水基本上都是經過反滲透、蒸餾等方法制得，而超純水是在純水的基礎上還要經過光氧化技術、精處理和拋光處理等一系列復雜的純化技術制得的。
指標不同： 重金屬、細菌、微粒數等指標也大不相同，純水雜質含量是ppm級，而超純水為ppb級，簡單地說超純水中已經沒有什么雜質，接近于理論上的水。
要求不同： 對輸送管道材質的要求也不相同，超純水對輸送管道材質的要求要比超純水嚴格的多。
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