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應用光電直讀光譜分析方法測定試樣中元素含量時，所得結果與真實含量通常是不一致，總是存在著一定的誤差。這里所講的誤差是指每次測量的數因，誤差可分為:系統誤差、偶然誤差和過失誤差3種。
(1)系統誤差也叫可測誤差，它是由于分析過程中某些經常發生的比較固定的原因所造成的，
它是可以通過測量而確定的誤差。通常系統誤差偏向一方，或偏高，或偏低。例如光譜標樣，經過足夠多次測量，發現分析結果平均值與該標樣證書上的含量值始終有一差距，這就產生一個固定誤差即系統誤差，系統誤差可以看作是對測定值的校正值，它決定了測定結果的準確度。
(2)偶然誤差是一種無規律性的誤差，又稱不可測誤差，或隨機誤差，它是由于某些偶然的因素(如測定環境的溫度、濕度、振動、灰塵、油污、噪音、儀器性能等的微小的隨機波動)所引起的，其性質是有時大，有時小，有時正，有時負，難以察覺，難以控制。它決定了測定結果的精密度。
(3)過失誤差是指分析人員工作中的操作失誤所得到的結果，沒有一定的規律可循，只能作為過失。不管造成過失誤差的具體原因如何，只要確知存在過失誤差，就將這一組測定值數據以異常值舍棄。
在光電直讀光譜分析過程中，從開始取樣到zui后出分析數據，是由若干個操作環節組成的，每一環節都產生一定的誤差。當無過失誤差時，光譜分析的總誤差主要是系統誤差和偶然誤差的總和，便決定了光電直讀光譜分析方法的正確度。分析正確度包含二方面內容:正確性和再現性。正確性表示分析結果與真實含量的接近程度，系統誤差小，正確性高。再現性(精密度)表示多次分析結果的離散程差和偶然誤差或系統誤差和偶然誤差都很小時，精密度就等于正確度。
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