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。電機上電，機械振蕩(加／減速時)
引發此類故障的常見原因有：①脈沖編碼器出現故障。此時應檢查伺服系統是否穩定，電路板維修檢測電流是否穩定，同時，速度檢測單元反饋線端子上的電壓是否在某幾點電壓下降，如有下降表明脈沖編碼器不良，更換編碼器；②脈沖編碼器十字聯軸節可能損壞，導致軸轉速與檢測到的速度不同步，更換聯軸節；③測速發電機出現故障。修復，更換測速機。維修實踐中，測速機電刷磨損、卡阻故障較多，此時應拆下測速機的電刷，用綱砂紙打磨幾下，同時清掃換向器的污垢，再重新裝好。
第二．電機上電，機械運動異常快速(飛車)
出現這種伺服整機系統故障，應在檢查位置控制單元和速度控制單元的同時，還應檢查：①脈沖編碼器接線是否錯誤；②脈沖編碼器聯軸節是否損壞；③檢查測速發電機端子是否接反和勵磁信號線是否接錯。一般這類現象應由專業的電路板維修技術人員處理，否則可能會造成更嚴重的后果。
第三．主軸不能定向移動或定向移動不到位
出現這種伺服整機系統故障，應在檢查定向控制電路的設置調整、檢查定向板、主軸控制印刷電路板調整的同時，還應檢查位置檢測器(編碼器)的輸出波形是否正常來判斷編碼器的好壞(應注意在設備正常時測錄編碼器的正常輸出波形，以便故障時查對)。
第四．坐標軸進給時振動
應檢查電機線圈、機械進給絲杠同電機的連接、伺服系統、脈沖編碼器、聯軸節、測速機。