英國Prior的物鏡對焦模塊

OP800壓電納米物鏡聚焦臺由于功能性也可以叫做電動Z軸，是英國Prior旗下子公司Queenstage生產的物鏡對焦模塊，型號為NanoScan OP800。NanoScan OP800特殊的機械設計和集成的電容反饋傳感器，使該產品具有定位精度和分辨率的特點，可提供在納米物鏡定位中較快的步進與穩定時間。

OP800納米物鏡掃描臺的特點：

-800um閉環行程范圍(950um開環行程范圍)

-在較大重量下也能快速到響應

-電容式定位傳感器為此納米物鏡定位器提供低納米級定位和最佳分辨率穩定性(低漂移)和可重復性

-堅固的結構設計使OP800納米壓電物鏡定位臺 可以在常規配置下承載重物

-使用不銹鋼材料，提供更大的機械剛度（更快的速度）和溫度穩定性（更低的漂移）

-可用于正置顯微鏡和倒置顯微鏡

-平臺是彎曲導向系統。無摩擦撓曲件設計用于提供高剛度并大程度地減少離軸運動，從而提供高可重復性和更快的循環時間

-經過測試，可以運行超過1000萬次完整范圍的周期。

-具有內置級校準的連接器提供可互換的即插即用電子器件，縮短了系統停機時間

-自動在行程范圍內進行中心校準，確保設備在所有適當的環境下進行全范圍掃描

OP800壓電納米物鏡聚焦臺的主要應用：

-用于光學切片生成3D圖像

-用于延時成像系統的自動對焦模塊

-高內涵篩選

-表面分析

-晶圓檢測

-掃描干涉儀

-多光子顯微鏡

英國Prior的物鏡對焦模塊