賽默飛ICP光譜儀以電感耦合高頻等離子體為激發光源，利用每種元素的原子或離子發射特征光譜來判斷物質的組成，進行元素的定性與定量分析。主要用于微量元素的分析，可分析的元素為大多數金屬以及硅、磷、硫等少量非金屬，廣泛應用于質量控制的元素分析。它不僅可以對超微量元素進行檢測，還可以對常量元素進行檢測，成為分析儀器領域越來越強有力的研究工具。
賽默飛ICP光譜儀分析過程主要分三步，即激發、分光和檢測。
一、激發光源使試樣蒸發汽化，離解或分解為原子狀態，原子也可能進一步電離成離子狀態。原子及離子在光源中激發發光；
二、利用分光器把光源發射的光色散為按波長排列的光譜；
三、利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進行定性分析，或按發射光強度進行定量分析。
賽默飛ICP光譜儀的維修保養要求：
1.儀器要有良好的使用環境。環境溫濕度變化過大儀器各部件容易受潮或者損壞，所以室內濕度應控制在要求范圍之間，并配備空氣凈化裝置。
2.使用中盡量減少開停機的次數，儀器頻繁開啟容易造成損壞，使用中需要倍加注意。
3.霧化器是進樣系統中精密及關鍵的部分，需要很好的維護使用及定期清理，否則可能導致測定強度下降，儀器反射功率升高等。
4.當實驗室內需要采用排風機排除儀器的熱量及工作時產生的氣體時，室外含有大量灰塵的空氣流入室內，積聚在儀器的各個部位上，容易造成高壓組件或接頭打火，電路板及接線、插座等短路漏電等故障，因此需要經常進行除塵。
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