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刻蝕系統: RIE反應離子刻蝕系統 ICP及DRIE刻蝕系統 IBE離子束刻蝕系統 RIE-PE刻蝕機

沉積系統: Parylene派瑞林真空鍍膜系統進口光學鍍膜機 TE熱蒸發鍍膜系統 E-Beam電子束蒸發系統磁控濺射系統 PECVD等離子化學氣相沉積系統 PLD脈沖激光沉積

生長系統: MOCVD設備 ALD原子層沉積系統 MOVPE設備

清洗去膠系統: 等離子去膠清洗及灰化系統單晶圓/掩模版兆聲清洗機大基片清洗/去膠/濕法刻蝕 MW微波等離子清洗去膠系統離子束清洗系統研發用等離子去膠機

熱真空試驗系統: 熱真空試驗箱熱真空環境模擬試驗設備空間環境模擬試驗設備熱真空系統

核心組件: Platens樣品臺等離子體源

檢測系統: 飛行時間二次離子質譜儀

量測系統: 晶圓厚度測量儀接觸角測量儀薄膜曲率應力測量儀

晶圓加工設備: 晶圓劃片機

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NANO-MASTER產品介紹

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NANO-MASTER產品應用于LED、微機電系統、光電子學、納米技術、太陽能電池、半導體和空間模擬等。主要產品有用于SiO2/Si3N4/DLC/CNT/石墨烯等沉積的PECVD等離子體化學氣相沉積，濺射系統（RF/DC/反應濺/共濺/組合濺），熱蒸鍍和E-Beam蒸鍍，ALD原子層沉積，用于InGaN/AlGaN等氮化物沉積的PA-MOCVD，IBE/RIE/ICP/DRIE刻蝕系統，兆聲波無損濕法清洗/去膠/剝離/刻蝕系統，熱真空系統。