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羅茨真空泵（簡(jiǎn)稱羅茨泵）是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?。它是由羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)的。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同，又分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵（又稱機(jī)械增壓泵）和高真空多級(jí)羅茨泵真空設(shè)備的一種。下面我們來(lái)介紹一下羅茨泵的工作原理：羅茨泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣過(guò)程。在0°位置時(shí)（圖中a），下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(shí)（圖中b），該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高，引起一部分氣體返沖過(guò)來(lái)。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí)（圖中c），下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí)，上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí)（圖中d），上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通，重復(fù)上述過(guò)程。180°（圖e）位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積的氣體。

其特點(diǎn)如下：1、在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有較大的抽速；2、起動(dòng)快，能立即工作；3、對(duì)被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感；4、轉(zhuǎn)子不必潤(rùn)滑，泵腔內(nèi)無(wú)油；5、振動(dòng)小，轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡條件較好，沒(méi)有排氣閥；6、驅(qū)動(dòng)功率小，機(jī)械摩擦損失??；7、結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小；8、運(yùn)轉(zhuǎn)維護(hù)費(fèi)用低。因此，羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)部門得到廣泛的應(yīng)用。

羅茨真空泵的zui大優(yōu)點(diǎn)是：在較低入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率，但它不能單獨(dú)使用，必須有一臺(tái)前級(jí)真空泵串聯(lián)。待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時(shí)，羅茨真空泵才能開始工作。并且在一般情況下，羅茨真空泵不允許高壓差時(shí)工作，否則將會(huì)過(guò)載和過(guò)熱而損壞，因此使用羅茨真空泵時(shí)必須合理地選用前級(jí)真空泵，安裝必要的保護(hù)設(shè)備。