解讀等離子清洗機的構(gòu)造與運行過程
閱讀：2955 發(fā)布時間：2015-9-1
（1）被清洗的工件送入真空室并加以固定，啟動運行裝置，開始排氣，使真空室的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。一般排氣時間大約需要2min。
（2）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100pa。根據(jù)清洗材質(zhì)的不用，可分別選用氧氣、氫氣、或氮氣等氣體。
（3）在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體*籠罩在被處理工件，開始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
（4）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及汽化的污垢排出，同時向真空室內(nèi)鼓入氣體，并使氣壓升至一個大氣壓。
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