X射線熒光光譜儀根據分光方式不同，可分為波長色散和能量色散X射線熒光光譜儀兩大類；根據激發方式又可細分為偏振光、同位素源、同步輻射和粒子激發X射線熒光光譜儀；根據X射線的出射、入角還可有全反射、掠出入射X射線熒光光譜儀等。

波長色散XRF光譜儀利用分光晶體的衍射來分離樣品中的多色輻射，能量色散光譜儀則利用探測器中產生的典雅脈沖和脈高分析器來分辨樣品中的特征射線。

波長色散X射線熒光光譜儀是利用原級X射線或其他光子源激發待測物質中的原子，使之產生熒光（次級X射線）。從而進行物質成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有色散型和非色散型兩種。它的優點是不破壞樣品，分析速度快，適用于測定原子序數4以上的所有化學元素，分析精度高，樣品制備簡單。

波長色散X射線熒光光譜儀的應用領域介紹：