為了讓厚度量測(cè)數(shù)據(jù)清晰而又精確，一種使用良好技術(shù)的雙傳感器測(cè)厚系統(tǒng)應(yīng)運(yùn)而生。
Solarius研發(fā)的厚度測(cè)量系統(tǒng)使用兩個(gè)上下精確對(duì)位的非接觸式傳感器。這種測(cè)量方式快速準(zhǔn)確，允許從上下兩側(cè)同時(shí)測(cè)量樣品的一層或多層的厚度。系統(tǒng)工作時(shí)，樣品上下兩側(cè)同步量測(cè)，這樣來自上下兩種傳感器的測(cè)量值差異將生成最終的厚度數(shù)據(jù)。
快速且精確的厚度檢測(cè)
模塊化設(shè)計(jì)
高效率大面積檢測(cè)
靈活且易于自動(dòng)化
可定制的人機(jī)交互式界面
定制化分析
非接觸式無損測(cè)量
AOP厚度測(cè)量系統(tǒng)配備一套納米級(jí)精度的XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，該平臺(tái)測(cè)量范圍高達(dá)400mmx400mm。兩個(gè)對(duì)稱安裝的高速點(diǎn)或線傳感器，其高度測(cè)量范圍從2mm到145mm，分辨率從0.2um到5um。Solarius SolarScan軟件提供自動(dòng)測(cè)量功能以及定制化程序模板；模塊化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)為定制化分析軟件提供了較大程度的靈活性。