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PIPS II 精密離子減薄儀
  • PIPS II 精密離子減薄儀
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貨物所在地：上海上海市

更新時間：2025-03-28 16:01:35

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PIPS II 精密離子減薄儀包含了 WhisperLok®，能對減薄樣品進行準確定位。10英寸觸摸屏簡單易用，提高對減薄區域的精度控制和減薄過程的可重復性。

PIPS II 精密離子減薄儀




設備簡介：

一代PIPS™離子減薄系統樹立了透射電鏡（TEM）制樣的行業標準已超20年，而全新一代PIPS II 精密離子減薄儀基于一代PIPS 有了根本性的升級。

PIPS II 包含了 WhisperLok®，能對減薄樣品進行準確定位。10英寸觸摸屏簡單易用，提高對減薄區域的精度控制和減薄過程的可重復性。

配備的數碼變焦顯微鏡系統可以實時監測減薄過程，同時可將獲取的彩圖存儲于DM軟件中，用于與樣品在TEM中成像對比。


性能優點：


  • WhisperLok系統及X-Y可調樣品臺：可對樣品感興趣區域進行對中重復減薄

  • 低能量聚焦離子槍：變化的低能量范圍的性能可用于FIB樣品的表面清掃

  • 能量從 0.1 keV到 8 keV可調 : 低能范圍的性能提升可以減少非晶層

  • 液氮冷臺：去除熱效應產生的樣品損傷

  • 10英寸彩色觸摸屏控制：簡單易用的控制圖形用戶界面

  • 數碼變焦顯微鏡系統：實時監測減薄過程

  • DM軟件存儲彩圖：可以使用同TEM和EELS數據相同的格式儲存光學顯微圖像



應用：


  • 半導體

  • 金屬（氧化物，合金）

  • 陶瓷



技術規格：


離子源

離子槍
兩個配有低能聚焦能力電極的潘寧離子槍
拋光角度（°）
+10 到-10,每支離子槍可獨立調節
離子束能量 (keV)
0.1 ? 8.0
離子束流密度峰值 (mA/cm2)
10
射束校準
使用熒光屏的精密光束校準
離子束直徑
可用氣體流量計或放電電壓來調節
樣品臺

樣品尺寸（mm）
3 或者 2.3
樣品夾持

標準
DuoPost®
可選
石墨臺
轉速 (rpm)
1 ? 6
離子束調制
角度范圍可調的單向調制或雙向調制
X, Y 方向平移 (mm)
±0.5
樣品觀察

Option 1
雙目顯微鏡
Option 2
數碼變焦顯微鏡及 DM 軟件存儲（選配）
真空系統

干泵系統
80 L/s 的渦輪分子泵，具備兩級隔膜前級泵
壓力 (torr)

基本壓力
5 x 10-6
工作壓力
8 x 10-5
真空規
冷陰極型，用于主樣品室；固體型，用于前級機械泵
樣品氣鎖
WhisperLok,技術，樣品交換時間小于1 分鐘
用戶界面

10 英寸彩色觸摸屏
操作簡單，且能夠完整控制所有參數和配方式操作
尺寸及使用要求

外形尺寸 (長 x 寬 x 高, mm)
547 × 495×615
運輸重量 (kg)
45
功耗 (W)

運行時
200
待機時
100
電源要求
通用 100/240 VAC, 50/60 Hz （用戶額定電壓和頻率）
氬氣 (psi)
25



訂貨編號：LR-200635



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