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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀為工程師提供了準確性、可靠性和靈活性的過程監(jiān)控，可以提高效率、保證晶圓制造的一致性，以滿足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業(yè)中，如果不使用復雜的監(jiān)測和控制來確保晶圓制造的一致性，晶圓的制造成本將大大提高。
我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀允許定量化學濃度。全在線化學監(jiān)測能夠?qū)崟r校正溶液成分，從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。
監(jiān)控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量。可能影響產(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測時會立即顯現(xiàn)出來，并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。
產(chǎn)品選項
• 多個樣本點
• 額外的5 mL數(shù)字滴定管
• 附加傳感器
• 安全聯(lián)鎖裝置
• 試劑低液位檢測
優(yōu)勢
• 增加工具產(chǎn)量
• 降低化學品成本
• 實時過程監(jiān)控
• 降低批量損失
• 降低所有者成本
應用
• 銅化學機械拋光
• 鎢化學機械拋光
• 濕法蝕刻
• 清潔
• DSP+
• 氮化物蝕刻
• PAN蝕刻
• 食人魚蝕刻
• HF
產(chǎn)品特點
• 4個4-20 mA 模擬輸出
• 8個可編程繼電器
• 以太網(wǎng)和 RS232 串口
• 彩色觸摸屏
• 集成試劑儲存
• 單采樣點
• 1個5mL數(shù)顯滴定管
• 多個傳感器輸入
規(guī)格
| 分析方法 | 電位法/標準加入法/光度法 |
| 精確度1 | ±0.2%顯示值 |
| 誤差度1 | 0.2%相對誤差 |
| 測量時間 | 少于5分鐘/分析(取決于應用) |
| 校準頻率 | 自開始起2 |
| 樣品消耗量 | 小于 5 mL/次 |
| 樣品量 | 0.05 至 5 mL（取決于應用） |
| 樣品溫度 | 低于93℃(200℉) |
| 耗水量 | 少于1000mL/次 |
| 樣品入口/返回 | 小于30 psi |
| 0.5升/分鐘 | |
| 1/4"外徑擴口接頭 | |
| 1"FPT 密封聯(lián)軸器 | |
| 去離子水 | 20-40 psi |
| 2升/分鐘 | |
| 1/4"外徑擴口接頭 | |
| CDA | 60-80 psi |
| 1/4"外徑快速接頭 | |
| 過程排放 | 3/4"NPT 重力排放 |
| 機箱排水 | 1/2"NPT 重力排放 |
| 電源 | 110 /220 VAC，50 /60 Hz，1 /0.5A 現(xiàn)場可切換 |
| 排水 | 1 7 /8" OD @ 17 CFM |
| 外形尺寸 | 39.00"H x 27.00"W x 16.00"D |
1僅指“硬件"。應用、化學和工藝條件等外部因素會影響系統(tǒng)準確度和精密度。
2這不包括 pH 傳感器的校準。有關詳細信息，請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數(shù)據(jù)是真實的，所表達的意見是合格專家對所進行測試的結(jié)果的看法，這些數(shù)據(jù)不應被視為 Entegris 承擔法律責任的保證或陳述。提供的數(shù)據(jù)僅供考慮、調(diào)查和驗證。對這些數(shù)據(jù)和信息的任何使用都必須由用戶決定，以符合聯(lián)邦、州和當?shù)氐姆煞ㄒ?guī)。所有規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
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