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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
KS-41A 理音RION液體粒子計(jì)數(shù)器
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測(cè)定可能
- 多點(diǎn)監(jiān)視システムに接続可能
| 光學(xué)系方式 | 側(cè)方散亂方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導(dǎo)體レーザ（波長830nm、定格出力200mW） |
| 接液部材質(zhì) | 合成石英、PFA |
| 粒徑區(qū)分 | 0.15μm～0.5μmの範(fàn)囲で10段階 出荷時(shí)：0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上の4段階 |
| 定格流量 | 10mL/min |
| zui大粒子個(gè)數(shù)濃度 | 1,200個(gè)/mL（計(jì)數(shù)損失5%以內(nèi)） |
| 電源 | DC12V（KE-40B1より供給） |
| 大きさ | 約160（H）×300（W）×250（D）mm（突起物を除く） |
| 重さ | 約7.5kg |