性做久久久久久坡多野结衣-性做久久久久久久久浪潮-性欲影院-性影院-国产精品线路一线路二-国产精品兄妹在线观看麻豆

您好, 歡迎來到化工儀器網

| 注冊| 產品展廳| 收藏該商鋪

021-61552797

technology

首頁   >>   技術文章   >>   等離子蝕刻機的結構

上海爾迪儀器科技有限公司

立即詢價

您提交后,專屬客服將第一時間為您服務

等離子蝕刻機的結構

閱讀:2429      發布時間:2021-6-30
分享:
等離子刻蝕機,又叫等離子蝕刻機、等離子平面刻蝕機、等離子體刻蝕機、等離子表面處理儀、等離子清洗系統等。等離子刻蝕,是干法刻蝕中最常見的一種形式,其原理是暴露在電子區域的氣體形成等離子體,由此產生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
結構
ICP 設備主要包括預真空室、刻蝕腔、供氣系統和真空系統四部分。
(1)預真空室
預真空室的作用是確保刻蝕腔內維持在設定的真空度,不受外界環境(如:粉塵、水汽)的影響,將危險性氣體與潔凈廠房隔離開來。它由蓋板、機械手、傳動機構、隔離門等組成。
(2)刻蝕腔體
刻蝕腔體是ICP 刻蝕設備的核心結構,它對刻蝕速率、刻蝕的垂直度以及粗糙度都有直接的影響。刻蝕腔的主要組成有:上電極、ICP 射頻單元、RF 射頻單元、下電極系統、控溫系統等組成。
(3)供氣系統
供氣系統是向刻蝕腔體輸送各種刻蝕氣體,通過壓力控制器(PC)和質量流量控制器(MFC)精準的控制氣體的流速和流量。氣體供應系統由氣源瓶、氣體輸送管道、控制系統、混合單元等組成。
(4)真空系統
真空系統有兩套,分別用于預真空室和刻蝕腔體。預真空室由機械泵單獨抽真空,只有在預真空室真空度達到設定值時,才能打開隔離門,進行傳送片。刻蝕腔體的真空由機械泵和分子泵共同提供,刻蝕腔體反應生成的氣體也由真空系統排空。

會員登錄

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
在線留言
主站蜘蛛池模板: 房产| 江口县| 界首市| 涞源县| 兴山县| 平定县| 阿克苏市| 天镇县| 凤山县| 神农架林区| 上蔡县| 临泉县| 长垣县| 舞钢市| 枣庄市| 囊谦县| 鄂尔多斯市| 昌吉市| 宕昌县| 常熟市| 陈巴尔虎旗| 新昌县| 前郭尔| 崇阳县| 抚顺市| 保山市| 洮南市| 东源县| 佛学| 沙河市| 芜湖县| 佳木斯市| 应城市| 长沙县| 辽宁省| 灌阳县| 绥江县| 轮台县| 礼泉县| 历史| 万全县|