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FT-391系列手持式四探針方阻測試儀
FT-391 Series handheld four-probe resistance tester
一.概述
參照硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）及國家標準設計制造該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》，采集集成電路恒流源系統，提供便捷的操作模式，便攜式外型結構，可充電式電源系統，待機時間長，上下限設定.
二.四探針薄膜電阻測試儀功能介紹
手持式外型結構適用于車間生產、品管抽檢，外出、攜帶測量等要求測量的場所；也適用于中小型半導體材料生產企業.
三.四探針薄膜電阻測試儀技術參數
規格型號 | FT-391A | FT-391B | FT-391C |
1.方塊電阻范圍 | 10～2.00×102Ω/□ | 10～2.00×103Ω/□ | 10～2.00×104Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 1～2×103Ω-cm | 1～2×104Ω-cm | 1～2×105Ω-cm |
3.分辨率 | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
4.顯示讀數 | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 | ||
5.測試方式 | 單電測量 | ||
6.工作電源 | 5V.1000mA | ||
7. 誤差 | ≤4.5%（標準樣片結果） | ||
8.選配 | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規格; 選配4：探針材質：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針; 2. | ||
FT-392系列手持式四探針測試儀
FT-392 Series hand-held four-probe tester
規格型號 | FT-392A | FT-392B | FT-392C |
1.方塊電阻范圍 | 0.1～2.00×102Ω/□ | 0.1～2.00×103Ω/□ | 0.1～2.00×104Ω/□ |
2.電阻率范圍 | 0.01～2×103Ω-cm | 0.01～2×104Ω-cm | 0.01～2×105Ω-cm |
3.分辨率 | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
4.顯示讀數 | 液晶顯示：電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 | ||
5.測試方式 | 單電測量/ | ||
6.工作電源 | 5V.1000mA | ||
7. 誤差 | ≤4.5%（標準樣片結果） | ||
8.選配 | 選配1.方形探頭； 選配2.直線形探頭；探針間距；選配3：探針間距1mm；2mm；3mm三種規格; 選配4：探針材質：碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針 | ||
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