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四探針電阻率測試儀檢測條件
本規(guī)程適用于新生產(chǎn)、使用中和修理后的接觸式測量范圍在0.001～103Ω·cm的電阻率測試儀的檢定。對某些多功能的測試或只能測方塊電阻的測試儀也同樣適用，方塊電阻的測量范圍在0.01～104Ω/□。本規(guī)程不適用于二探針、三探針和六探針以及方形探頭電阻率測試儀。
四探針電阻率測試儀概述
四探針電阻率測試儀是用來測量半導(dǎo)體材料及工藝硅片的電阻率，或擴(kuò)散層及外延層方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣部分和探頭部分組成，電氣部分一般包括穩(wěn)流源、數(shù)字電壓表或電位差計、換向開關(guān)等儀器。探頭部分一般包括探針架、探針頭和樣品臺。
1-穩(wěn)流源;2-換向開關(guān);3-標(biāo)準(zhǔn)電阻;4-探針接線;5-無熱電勢開關(guān);6-數(shù)字電壓表;7-被測樣品
1-微型計算機(jī)部分;2-電氣箱部分;3-手動升降機(jī)構(gòu)、探針架、探針頭及樣品臺部分
四探針電阻率測試儀檢定環(huán)境條件
四探針電阻率測試儀應(yīng)在恒溫清潔室內(nèi)進(jìn)行，檢定具體要求見表3。檢定前，儀器和所用的標(biāo)準(zhǔn)儀器設(shè)備應(yīng)在恒溫室內(nèi)旋轉(zhuǎn)12h以上。
*在檢定過程中發(fā)現(xiàn)有靜電感應(yīng)或泄漏電流的現(xiàn)象，則應(yīng)采取相應(yīng)的屏蔽或接地措施消除。
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