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產品簡介
薄膜材料的機電是MEMS器件設計的關鍵，縱向壓電系數d33和橫向壓電系數e31被用于表征傳感器和執行器的這些關鍵。
詳細介紹
機電薄膜e31測試儀
薄膜材料的機電是MEMS器件設計的關鍵，縱向壓電系數d33和橫向壓電系數e31被用于表征傳感器和執行器的這些關鍵。
縱向壓電系數可由aixDBLI測試，而橫向壓電系數e31就可用aix4PB系統測試。
通過夾具，可以測得正向e31和逆向e31。
標準的aix4PB系統主要由以下部分組成：四點彎曲樣品夾具、TF Analyzer 2000、單光束激光測振儀。
可以進行如下測試功能：
全部鐵電表征，基于TF2000系統，包括極化、電容、漏電流、疲勞測試。
有效橫向壓電系數的測量通過交替均勻機械力施加于樣品，并測試產生的電荷。
所有的測量數據也可以在附加的壓縮或拉伸靜態負載下進行，這也覆蓋了整個壓電薄膜在整個MEMS器件中的行程。
機電薄膜e31測試儀特點/規格：
四點彎曲樣品夾具：
產生力的壓電執行器
激光測振儀夾具
容易接觸到頂部和底部的樣品電極
所有的TF2000系統的測試功能
遠程接入和腳本控制的可選件
單光束激光干涉儀，小分辨率1nm
機電薄膜e31測試儀軟件：
Windows 7 操作系統
通過GPIB或以太網的遠程接入和腳本控制
通過ODBC接口的數據庫連接
測試數據通過ASCII形式輸出
測試數據交換通過aixPlorer軟件或Resonance Analyzer
公司主營產品：
幾大系列：功能材料電學綜合測試系統、絕緣診斷測試系統、高低溫介電溫譜測試儀、極化裝置與電源、高壓放大器、PVDV薄膜極化、高低溫冷熱臺、鐵電壓電熱釋電測試儀、絕緣材料電學性能綜合測試平臺、電擊穿強度試驗儀、耐電弧試驗儀、高壓漏電起痕測試儀、沖擊電壓試驗儀、儲能材料電學測控系統、壓電傳感器測控系統。
機電薄膜e31測試儀
機電薄膜e31測試儀