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高溫四探針測試儀技術指標
高溫四探針測試儀技術指標
●測量溫度：室溫---600°C ; |
●控溫精度：±1℃ ， |
●顯示精度：±0.1℃； |
●升溫斜率：1-5°C/min； |
●測量精度：0.05%； |
●電阻率：10-5 ～105 Ω.cm ; |
●電導率：10-5 ～105 s/cm |
●方塊電阻：10-4 ～106 Ω/□； |
●電阻：10-5 ～105 Ω； |
●探針間距：2±0.01mm； |
●探針壓力：0~2kg可調； |
●針間絕緣電阻：≥1000MΩ； |
●真空腔體漏率標準要小于10-9 Pa?m3/s ; |
●樣品：直徑15~30mm，厚度小于4mm； |
●設備尺寸：680mmX450mmX400mm |