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COIL用薄膜90度位相延遲高反射鏡的研制

2012-12-5 閱讀(2591)

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1、(中國科學院大連化學物理研究所,遼寧大連116023)

2、( 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所,吉林長春130021)

摘!要:隨著氧碘化學激光器(COIL)的不斷提高,傳統的膜系設計已不能滿足要求。在倍頻膜系的設計基礎上,優化設計出了激光45度入射對1315nm和632.8nm雙波長高反(HR)并在1315nm處具有90度相位延遲的高反射鏡,其基底材料為融石英,高折射率材料為ZrO2,低折射率材料為SiO2。然后,采用電子束蒸發手段制備了口徑為200nm的高反射相位遲鏡。zui后對該延遲鏡的性能進行了測試,結果表明:對632.8nm的 波長的反射率大于等于95.0% ,對1315nm波長的反射率大于等于99.8% ,位相延遲在90.235度到95.586度。
關鍵詞:氧碘化學激光器;位相延遲;倍頻膜系
中圖分類號:TN258.5           文獻標識碼:A

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