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產(chǎn)品簡介
光刻膠 高精度計量泵 涂膠顯影機(jī) 高壓計量泵 1000厘泊（cP） 光刻膠泵 光刻膠涂布專用泵 高壓柱塞泵 全自動勻膠顯影機(jī) 不間斷無脈動連續(xù)供膠 高壓輸液泵 光刻膠輸送 供膠泵
詳細(xì)介紹
三為科學(xué)光刻膠高壓計量泵是采用凸輪傳動的高壓柱塞泵，輸液液體粘度可以達(dá)到1000厘泊（cP），高精度無脈沖連續(xù)供膠，可以用于涂膠顯影機(jī)中輸送光刻膠，sanotac光刻膠高壓計量泵還具有：在線流量和壓力變化曲線、客戶端流量校正，按體積輸送功能和按重量輸送功能，Modbus協(xié)議，232/485，PLC模擬量輸入：0—5V , 4—20 mA；流量精度高、壓力脈沖低，重復(fù)性好，質(zhì)量優(yōu)異。
技術(shù)特點：
1， 壓力保護(hù)設(shè)定：可設(shè)置壓力上限和壓力下限；
2， 壓力脈沖低 ， 采用凸輪曲線補(bǔ)償和流量脈沖電子抑制技術(shù)；
3， 流速單位切換：按體積輸送ml/min和按質(zhì)量輸送g/min；
4， 流量校準(zhǔn)：提供用戶參數(shù)區(qū)用于校準(zhǔn)泵的流速，滿足不同系統(tǒng)工況需求；
5， 流量控制程序： 提供兩種運行程序，恒流運行和梯度運行；
6， 壓力曲線顯示：各設(shè)備分別顯示當(dāng)前壓力曲線，直觀判斷設(shè)備運行狀況；
7， 流量曲線顯示：各設(shè)備分別顯示當(dāng)前運行的流量曲線；
8， 支持RS-232，RS-485，RS-422；Modbus RTU和 ASCII協(xié)議；
9， 一對多控制，單泵操作和多元梯度操作自由選擇，可擴(kuò)展1對32操作；
10， 運行數(shù)據(jù)保存：開啟或停止數(shù)據(jù)記錄，將壓力曲線和流量曲線保存至Excel格式文件中。
11， 設(shè)置方法保存：保存運行參數(shù)設(shè)置，如串口端口參數(shù)，壓力保護(hù)值，流量控制程序等。
12， 可以實現(xiàn)流體入口天平減重系統(tǒng)的閉環(huán)控制（根據(jù)客戶天平規(guī)格定制）。
高粘度高壓柱塞泵產(chǎn)品參數(shù)：
| 序號 | 產(chǎn)品型號 | VP-0110 | VP-0510 | VP-1010 |
| 1 | 泵頭材質(zhì) | 不銹鋼泵頭 | ||
| 2 | 輸液方式 | 雙柱塞并聯(lián)模式，浮動柱塞設(shè)計 | ||
| 3 | 流量范圍 | 0.01-10.00/min | 0.01-50.00/min | 0.01-100.00/min |
| 4 | 輸送粘度范圍 | 0-1000cP | 0-100cP | 0-100cP |
| 5 | 增量 | 0.01ml/min | ||
| 6 | 流量準(zhǔn)確度 | ± 0.5% | ||
| 7 | 流量重復(fù)性 | ≤ 0.1% | ||
| 8 | 壓力范圍 | ≤ 10Mpa | ||
| 9 | 壓力脈動 | ≤ 0.05Mpa | ||
| 10 | 流路材料 | 316L不銹鋼、PTFE、紅寶石、陶瓷 | ||
| 11 | 流量校正功能 | 用戶端 0.01--100.00ml范圍內(nèi)多參數(shù)流量校正功能 | ||
| 12 | 通信功能 | RS232，RS485/422(選配)； Modbus RTU和 ASCII協(xié)議 | ||
| 13 | 上位機(jī)軟件 | SanoFlu流體控制管理系統(tǒng) | ||
| 14 | 電源 | 220±10%VAC,50Hz | ||
| 15 | 尺寸 | 360×260×160 mm3 | ||