普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀

高性能移動型檢漏儀——ASM 390

高性能 – 移動式 ASM 390、ASM 392

對大型測試對象進行快速抽氣和短響應時間

ASM 390 和 ASM 392氦質(zhì)譜檢漏儀 是理想的泄漏檢測解決方案，適用于半導體和顯示器行業(yè)以及其他以快速抽氣和高靈敏度為關鍵的苛刻應用。兩個裝置均符合 Semi S2 標準。

這些檢漏儀配備了干式無摩擦前級泵和強大的高真空泵，使其成為在清潔環(huán)境中對各種組件進行泄漏測試的理想工具。 ASM 392 配備額外的渦輪分子泵，將加快泄漏檢測過程，減少生產(chǎn)設備的停機時間。

干式氦檢和移動性

ASM 390 和 ASM 392 可用于半導體和顯示器產(chǎn)業(yè)以及其他要求嚴格的應用，這些應用需要快速的抽空時間和高靈敏度。兩種型號都符合 Semi S2 標準。

這些氦質(zhì)譜檢漏儀都裝備干式非接觸前級泵和強大的高真空渦輪分子泵，從而使其成為清潔環(huán)境下各種組件泄漏測試的理想工具。ASM 392裝有一臺額外的渦輪分子泵，可以加速泄漏檢測流程，降低生產(chǎn)設

備的停機時間。

耐用、精確、可靠

ASM 390 和 ASM 392 的開發(fā)是基于實現(xiàn)任何等級的操作人員都能上手的設備。他們都可以在最短的時間里提供良好性能和結(jié)果，從而在現(xiàn)場提高效率。

符合人機工學且操縱靈敏

ASM 390 和 ASM 392 具有同樣的平臺，人機工學設計，尺寸和高度合適，前部有一輔助手柄，顯示器可自由旋轉(zhuǎn)、可拆卸，前部入口易于連接測試端口，可操作性強，可用于各種測試場地，即使狹小的空間也應對自如。

精巧智能且用戶友好

通過色彩清晰的寬屏觸摸屏、帶模塊化隔倉和真空波紋管存儲的集成工具箱，在使用地點所有需要的附件無不齊備，您會感嘆泄漏檢測多么輕松。

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 高機動性和緊湊的設計

• 好的泄漏測試性能

• 大型可旋轉(zhuǎn)彩色觸摸屏

• 高粗加工能力 (35 m3/h)，可實現(xiàn)快速疏散

• 干燥清潔泵送技術

• 維護要求低

• 工作表面符合人體工學設計

• 污染情況下快速恢復

• 直觀的菜單，方便操作

• 用于存放配件的集成工具箱

• 快速啟動

• 高靈敏度和準確的測量

• 符合半 S2 標準

應用領域

半導體 鍍膜 太陽能 粒子加速 真空管件（貫通器材、閥門、波紋管、伸縮接頭）鐳射技術 超純物質(zhì) 電子元器件 航天 醫(yī)藥

ASM390尺寸圖：