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產品簡介
詳細介紹
普發分子泵 HiPace 1200-2300系列渦輪分子泵可以倒裝安裝，經過實踐證明的軸承技術確保了其的可靠性。成熟精湛的轉子設計使其具有更出色的抽速，更好的前級泵兼容性和更大的氣流量，對于小分子氣體具有更高的壓縮比。集成可靠的智能傳感器系統，HiPace系統當仁不讓的成為市場上安全性能非常好的產品。
普發分子泵 產品優勢：
從1000-2000L/S提供四個抽速等級
對于小分子量氣體（H2 He），和大分子量氣體（Ar、CF4）都有很高的抽速
即便對大分子量氣體（Ar，CF4)也有很高的氣流量
安裝角度可選0°-90°和90°-180°
有抗腐蝕性氣體型號可選（C型號）
帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統
電壓范圍：90-265V
界面接口：RS-485，遠程控制；Profibus和DeviceNet可選
獲得SEMI S2，UL,CSA和TUV認證
防護等級IP54符合工業環境應用要求
最大可能的符合各種工藝流程，能夠忍受顆粒物
普發分子泵應用領域：
半導體
真空爐
質樸分析
鍍膜、研發
工業檢漏
普發分子泵 系列型號：
HiPace 1200
HiPace 1500
HiPace 1800
HiPace 2300