Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀（SAS）

Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀，是一款基于“膠帶粘取"采樣技術的表面污染檢測工具，可通過間接測量方式識別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專用 PMC 采樣卡能在各類表面（包括難以觸及區域和高粗糙度表面）實現靈活采樣，且不會殘留可檢測的痕跡。該設備可在數秒內完成 225 mm2 采樣區域的分析，確保快速獲得精準檢測結果。搭配 2 英寸晶圓支架，也可對沉降顆粒進行檢測，滿足跨行業復雜場景的檢測需求。

產品特點

• 符合 ISO 14644-9 標準：在用戶界面生成具有認證的 PDF 報告

• 檢測范圍：可檢測低至 0.5 um 顆粒

• 穩定：90% 采集效率 | >90% 重復性

• 快速：10 秒完成檢測

數秒內完成表面清潔度測量

快速: 成像僅需數秒

定量: 可溯源的定量化結果

操作簡便: 操作結果不受操作人員影響

• 用于產線質量管控的即時判定

• 用于研發人員的進一步數據分析

• 用于監測、快速驗證和統計過程控制

精準: 高分辨率測量（數量、位置、尺寸）

穩定: 多次測量結果高重復性

高通量: 即時給出合格/不合格結果

儀器表面顆粒物分析儀（SAS）

該系該儀器通過采樣器間接測量表面顆粒污染水平。使用采樣器方便 用戶隨時在各種產品和組件上采集顆粒污染樣本。

使用采樣器進行間接測量

使用采樣器甚至能對難以觸及的地方以及相對粗糙的表面進行可 靠測量。采樣器（來自經過認證的供應商）不會造成交叉污染。

分析儀能在數秒內完成對采樣器的檢測，這使測試工作流程可控制 在一分鐘以內。采樣器可放在采樣器支架中運輸、重新測量和進一 步分析。

具有多種采樣器選擇，包括用于間接檢測的粘取采樣器（含支架）和 用于落塵檢測的2英寸晶圓套件。

這種適應性使其適用于跨多個行 業的不同測試場景，能提供可靠測量數據并深入洞察污染水平。