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Proportion-Air QB3電氣比例閥——激光充電室流量控制

下圖顯示了一個激光充電室流量控制應用程序，該應用程序需要可以動態調整的3種氣體混合物。

使用了三個F系列閉環流量控制器- 每個氣體控制一個。可以通過調節相應流量控制器的指令信號來改變混合物。由于這是一個閉環控制方案，來自流量監視器的信號可用于數據采集。該信號在FQPV2主電氣連接器的引腳5上可用。

在此應用中還使用QB3來控制裝料室中的真空。真空度是一個關鍵部件，需要可重復控制以幫助保持充電室中每種氣體的適當水平。