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當氣溶膠流暴露在準分子燈的 UV 輻射中，準分子燈提供高強度、窄帶UV輻射源，準分子燈有選擇的提供 UV 輻射的波長，因此僅吸附 PAHs的氣溶膠粒子才會被離子化，而氣體分子以及非碳氣溶膠不帶電。

表面吸附有 PAHs分子的碳氣溶膠顆粒會發射電子，通過施加電場，所有帶負電荷的粒子全部被安全去除，其余的帶正電荷粒子被收集在法拉第罩內的過濾器上，在這里電荷被靜電計測量，產生的電流信號與顆粒吸附的PAHs濃度成比例關系。

使用的準分子燈技術實時連續檢測顆粒吸附的多環芳烴PAHs，從ng/ m3到mg/m3量程范圍內的高靈敏度，信號與顆粒吸附的多環芳烴PAHs、元素碳EC及其他煙黒測量技術相關。