光刻膠是光刻工藝的材料，主要由樹脂、感光劑、溶劑、添加劑等組成，其中樹脂和感光劑是的部分。光刻膠主要成分：樹脂聚合物、感光劑、溶劑、添加劑。

中文名稱：2-羰基-四氫呋喃-3-羥基-甲基丙烯酸酯

英文名 2-oxotetrahydrofuran-3-yl methacrylate

別稱：甲基丙烯酸2-氧代四氫呋喃-3-基酯 (含穩定劑BHT)

CAS號：195000-66-9

分子量：170.16300

密度：1.17g/cm3

沸點：296.8oC at 760 mmHg

分子式：C8H10O4

熔點：N/A

MSDS：N/A

閃點：151.9oC

光刻膠Lift off KXN 5735-LO/LOL2000/3000/ROL-7133系列

光刻膠SU-8 100

光刻膠SU-8 2050

聚乙烯醇肉桂酸酯系負型光刻膠

Liftft off光刻膠

ma-N 1400系列 負性光刻膠

ma-N 400系列 負性光刻膠


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