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技術(shù)文章

SMC平行密封型門閥XGTP系列

閱讀:2478          發(fā)布時間:2018-3-29

SMC推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu),可對應(yīng)300mm晶圓。適用于半導(dǎo)體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。

◇ 長壽命:300萬次(常溫時)

???◇ 低發(fā)塵:發(fā)塵量減少到1/5以下(與舊型號相比)

???◇ 省氣:耗氣量減少22%

???◇ 輕量:14kg(盒式)

???◇ 工作窗尺寸:50mm X 336mm

 

平行密封構(gòu)造

▼門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封(L motion)構(gòu)造,降低了摩擦系數(shù),可大幅減少發(fā)塵量并延長使用壽命。

 

應(yīng)用場合

▼半導(dǎo)體加工過程中,針對各工藝腔室之間的隔離。

 

 

 

▼您也可以通過以下視頻了解到更詳細(xì)的產(chǎn)品規(guī)格及特性。

 

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以上信息版權(quán)歸上海維特銳所有,如需詳細(xì)了解請點擊:日本SMC系列產(chǎn)品

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