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newport線性電機平移臺用戶手冊
閱讀：1280 發(fā)布時間：2018-5-17newport IMS-LM 線性電機平移臺具有zui長的行程長度和線性電機，在提升速度和平順性的同時，保留了堅硬的鋁制機身和堅固耐用的組件，可在高占空比應用中實現(xiàn)亞微米分辨率。
特點:
1.非接觸直接驅動系統(tǒng)，可實現(xiàn)高動態(tài)響應和高可靠性
2.鐵芯線性電機，可實現(xiàn)快速和可重復定位
3.高分辨率線性編碼器，可用于亞微米級重復性和 20 nm MIM
4.為剛性 XY 組件而設計的剛性主體，行程可達 600 x 600 mm
5.帶籠式滾珠的循環(huán)軸承能夠確保靜音運動
6.即插即用的 ESP 控制器兼容性
M-IMS1000LM-S線性平臺適用于1000毫米行程的自支撐應用。該舞臺具有堅固的設計和低成本的高性能，使其成為精密工業(yè)和實驗室應用的高性價比解決方案。IMS采用FEM優(yōu)化的擠壓鋁制主體，以避免彎曲效應或負載下的撓曲。線性電機采用中心率的三相同步鐵芯，直線電機作為驅動元件，提供高速，高加速度和高系統(tǒng)響應能力。IMS系列平臺非常適用于許多精密工業(yè)應用，如半導體晶圓檢測，微電子測試和裝配，DNA測序或激光加工。
行程范圍：1000毫米
zui大速度：1000毫米/秒
zui小位移增量：0.020微米
電機持續(xù)驅動力：100 N
峰值驅動力：210 N
中心負載：600 N
精度典型值： ±4.0μm
精度保證值： ±9.0μm
雙向重復精度典型值： ±0.12μm
雙向重復精度保證值： ±0.50μm
俯仰典型值：±112μrad
俯仰保證值：±225微弧度
俯仰順應性：0.2μrad/ N·m
偏擺典型值：±40μrad
偏擺保證值：±150μrad
偏擺順應性：1μrad/ N·m
滾轉順應性：1μrad/ N·m
編碼器分辨率：1 Vpp 20μm間距
限位開關：光纖
原點：光學居中
原點重復精度：±0.05μm
螺紋類型：M6
重量：28公斤
MTBF：20,000小時（25％負載，30％占空比）
RoHS指令：合規(guī)