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　　儀器介紹
 

　　納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應力-應變曲線、疲勞、存儲模量及損耗模量等特性。可適用于有機或無機、軟質或硬質材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質或硬質材料，包括金屬、合金、半導體、玻璃、礦物和有機材料等   。
 

　　主要應用
 

　　半導體技術(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層)；光學組件(接觸鏡頭、光纖、光學刮擦保護層)；金屬蒸鍍層；防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；藥理學(藥片、植入材料、生物組織)；工程學(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業。
 

　　技術特點
 

　　1、*符合ISO14577、ASTME2546；
 

　　2、光學顯微鏡自動觀察；
 

　　3、熱漂移控制技術；
 

　　4、可硬度、剛度、彈性模量、斷裂剛度、失效點、應力-應變、蠕變性能等力學數據；
 

　　5、適時測量載荷大小；
 

　　6、采用獨立的載荷加載系統與高分辨率的電容深度傳感器；
 

　　7、快速的壓電陶瓷驅動的載荷反饋系統；
 

　　8、雙標準校正：熔融石英與藍寶石 。