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氣墊隔振平臺
氣墊隔振平臺外形尺寸
1200×800×800mm
1500×1000×800mm
1800×1000×800mm
1800×1200×800mm
2000×1200×800mm
2400×1200×800mm
氣墊性能
平面粗糙度不大于0.8um
平面度不大于0.05mm/㎡
振幅不大于3um
固有頻率不大于3Hz
M6安裝螺孔間距25×25mm或50×50mm
平臺表面材質采用高導磁不銹鋼板面
有自動平衡和普通氣墊平臺2種
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