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SMC帶前置過(guò)濾器的微霧分離器/SMC微霧分離器
為了提高硅圓片和液晶基板等上形成薄膜時(shí)的厚度均勻性,清除生成物,保持介質(zhì)(顯像液、抗腐
蝕液及洗凈液等)粘性的穩(wěn)定性,都需要進(jìn)行溫度控SMC公司可提供多種不同要求的溫調(diào)器,進(jìn)行
設(shè)定溫度范圍
冷卻能力
溫度穩(wěn)定性
循環(huán)液
樣本編號(hào)
HRZ
恒溫液循環(huán)裝置
-20~40℃
20~90℃
1~8KW
±0.3℃
氟素化液、
乙二醇水溶液
NPP-04-9-1
HRG
冷卻水循環(huán)裝置
5~35℃
900,1900,4500W
:\39526590\39529839/39529830轉(zhuǎn)8005或者8002
//
\39529831\39529839\39529839-8007或者8008
/
公司;www.qiantuo.net
;單榮兵/余娟
SMC帶前置過(guò)濾器的微霧分離器/SMC微霧分離器
±0.5℃
±1℃
清水
NPP-03-8
HEC
電子式恒溫水循環(huán)裝置
10~60℃
116,233,350,600W
±0.01~±0.03℃
清水
CAT.S40-37B
INR-499
使用冷媒(氟里昂)的
循環(huán)裝置
-30~90℃(普通型)
20~90℃(高溫型)
1000W
2000W
±1℃
氟素化液
乙二醇
水/純水(僅高溫型)
CAT.C-EP-4A
INR-497(
2000W
SMC帶前置過(guò)濾器的微霧分離器/SMC微霧分離器
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