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探針臺探針與樣品的接觸方式
點(diǎn)擊次數(shù)：242 發(fā)布時(shí)間：2025-4-28
探針臺探針與樣品的接觸方式根據(jù)應(yīng)用場景及設(shè)備類型的不同，主要可分為以下幾種形式：
一、機(jī)械定位接觸式
1.?手動定位調(diào)整?
通過X/Y/Z軸旋鈕或移動手柄手動調(diào)節(jié)探針座位置，逐步將探針jian端移動至待測點(diǎn)上方，再通過Z軸下壓完成接觸。此方式需結(jié)合顯微鏡觀察，確保探針與樣品表面jing準(zhǔn)對齊。
?操作示例?：在顯微鏡低倍物鏡下定位樣品后，切換高倍物鏡微調(diào)待測點(diǎn)位置，再通過探針座三軸微調(diào)旋鈕實(shí)現(xiàn)接觸。
2.?機(jī)械臂輔助定位?
利用機(jī)械手控制探針臂的移動，將探針jian端**定位至半導(dǎo)體器件的Pad或晶圓測試點(diǎn)，通過壓板下降建立電氣連接。
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二、真空吸附固定式
1.?樣品固定與探針配合?
樣品通過真空卡盤吸附固定，確保測試過程中無位移；探針通過獨(dú)立模塊化設(shè)計(jì)（如磁吸式底座）靈活調(diào)整位置，適配不同形狀/尺寸的樣品。
?典型應(yīng)用?：大電流測試中，樣品需清潔后置于真空卡盤，開啟真空閥確保吸附穩(wěn)定，再通過探針座微調(diào)接觸壓力。
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三、自動化控制接觸式
1.?計(jì)算機(jī)或程序驅(qū)動?
射頻探針臺通過計(jì)算機(jī)控制探針運(yùn)動，結(jié)合同軸電纜連接測試設(shè)備，實(shí)現(xiàn)晶圓級射頻參數(shù)的自動化測量。
gao效場景?：批量測試時(shí)，完成一個器件后升起壓板，移動載物臺至下一器件重復(fù)定位流程。
四、分步微調(diào)驗(yàn)證接觸
1.?接觸狀態(tài)確認(rèn)?
探針jian端接近樣品后，通過X軸左右滑動觀察表面劃痕或測試設(shè)備反饋信號，驗(yàn)證是否建立有效接觸。
?**操作?：需緩慢操作，避免探針壓力過大損壞樣品或針尖鈍化。
五、特殊模式擴(kuò)展
1.?多模式兼容設(shè)計(jì)?
部分探針臺支持切換真空/氣氛環(huán)境測試，通過模塊化設(shè)計(jì)快速拆卸探針底座，擴(kuò)展樣品腔空間或切換功能。
總之：探針與樣品的接觸核心在于?jing準(zhǔn)定位?與?穩(wěn)定控制?，需結(jié)合設(shè)備類型（手動/自動）、樣品特性（尺寸/材質(zhì)）及測試需求（電流/射頻）選擇適配方法。操作中需遵循分步微調(diào)、壓力驗(yàn)證等規(guī)范，以保障測試精度與設(shè)備壽命。