日本豐興AD-SL231D-304B氣動角閥TOYOOKI

1. 產品概述

• 型號：AD-SL231D-304B

• 品牌：豐興（Toyoko Koki）

• 類型：氣動高真空角閥（Angle Valve）

• 定位：適用于超高真空（UHV）和腐蝕性環境，常見于半導體、鍍膜及科研設備。

2. 核心特點

• 超高真空兼容：

• 泄漏率 <1×10?? Pa·m3/s（金屬密封），滿足UHV標準（10?? Pa以下）。

• 耐腐蝕設計：

• 閥體材質為 SUS304不銹鋼（標準），可選SUS316L增強抗腐蝕性（如應對Cl?、HBr）。

• 快速響應：

• 氣動驅動，開關時間 ≤0.5秒，支持高頻操作（如半導體腔室隔離）。

• 緊湊輕量化：

• 結構優化，重量較傳統閥門減輕20%，適合高密度設備集成。

3. 技術參數

4. 與AD-SL231D-504B的區別

• 材質差異：

• -304B：閥體為SUS304（通用型不銹鋼），成本較低。

• -504B：閥體可能升級為SUS316L（更高耐腐蝕性），適合惡劣工藝環境。

• 密封選項：兩者均支持金屬/氟橡膠密封，但-504B可能默認配置更耐腐蝕的密封組合。

5. 典型應用

• 半導體制造：刻蝕設備腔室隔離、CVD氣體通路控制。

• 真空鍍膜：磁控濺射設備的真空系統閥門切換。

• 科研裝置：同步輻射光源、電子顯微鏡的真空隔離。

6. 選型建議

• 腐蝕性環境：若工藝涉及強腐蝕氣體（如等離子刻蝕），建議確認SUS304是否足夠，或升級至SUS316L版本。

• 驅動方式：氣動需潔凈壓縮空氣（無油、無水），電動需匹配PLC信號（如24VDC）。

• 法蘭兼容性：需與現有系統的法蘭標準（CF/KF）匹配，必要時提供接口圖紙。

7. 支持與服務

• 豐興提供 3D模型下載（STEP/IGES格式）和定制化修改（如法蘭方向調整）。

• 渠道可獲取泄漏率測試報告和壽命驗證數據（通常>100萬次循環）。

日本豐興AD-SL231D-304B氣動角閥TOYOOKI