德國BMT WLI Linik干涉儀特點及技術參數

德國BMT WLI Linik干涉儀特點：

•區域表面的形貌測量；

•數秒內快速測量；

•粗糙和光滑表面都可測量；

•測量結果不受樣品的顏色和材料影響；

•產品堅固耐用。

德國BMT WLI Linik干涉儀技術參數：

•光源                            LED

•測量范圍    （mm)              150

•垂直分辨率（nm）               1

•橫向分辨率（μm）              ＞0.2

•測量面積    （μm）            90×70            

•工作距離，約（mm)              0.3

•光斑尺寸，約（μm)              0.95

•圖像尺寸（Pixel）               1～10