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北京海富達科技有限公司
主營產品： 臭氧檢測儀,環境檢測儀器,水質分析儀/ORP測定儀/溶解氧 |
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北京海富達科技有限公司
主營產品： 臭氧檢測儀,環境檢測儀器,水質分析儀/ORP測定儀/溶解氧 |
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| 參考價 | ￥ 5980 |
| 訂貨量 | 1臺 |
更新時間：2025-07-29 13:58:37瀏覽次數：922
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| 應用領域 | 化工 |
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質量流量控制儀報價質量流量控制儀報價 型號:D07-26C庫號：M410142
流量控制器型號：D07-26C卡套連接用途和特點
質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質量流量進行測量；質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環境和真空等多種行業的科研和中有著重要的應用。其應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。
D07 系列質量流量控制器和質量流量計具有重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定、工作壓力范圍寬等特點(可以在高壓或真空條件下工作), 其操作使用方便,可任*意位置安裝, 并便于與計算機連接實現自動控制。D07 系列質量流量控制器和質量流量計一般與 D08 系列流量顯示儀等產品配套使用,
控制器與顯示儀之間用配套用電纜連接。
主要技術指標
型號：D07-26C
流量規格：(20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM
準確度：±1.5 % F.S.
線性：±1% F.S.
重復精度：±0.2 % F.S.
響應時間：≤10 sec
工作壓差范圍：0.1~0.5 MPa
耐壓：3 MPa
溫度系數：Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;
工作環境溫度：5 ℃~45 ℃
輸入信號：0 V~+5.00 V
輸出信號：0 V~+5.00 V
電插頭形式：DB15 pin（Female）
電源：+15 V 50 mA
-15V 200 mA
重量：1.1 kg
注意:
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定為 : SCCM (標準毫升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態規定為 : 溫度 --- 273.15K ( 0 ℃ );
氣壓 — 101325 Pa (760mm Hg)
在流量計MFC/MFM 產品，單位SCCM和“ mL/min, 0 ℃ ,1atm" 等同，單位SLM和“L/min, 0 ℃ ,1atm" 等同。
F.S ． (Full Scale): 滿量程值
