測量范圍

mbar (Torr)

1.0 x 10-8 至 1000 (0.75 x 10-8 to 750)

測量不確定性 1)

MEMS-皮拉尼

冷陰極

mbar mbar

1 x 10-4 至 1 x 10-3 ±10 % 測量值

1 x 10-3 至 100 ±5 % 測量值

100 至 1000 ±25 % 測量值

1 x 10-8 至 1 x 10-3 ±30 % 測量值

測量重復性 1)

mbar

1 x 10-3 至 100 ±2 % 測量值

變 送 器 測量原理

冷陰極電離規與 MEMS-皮拉尼

電源電壓

V DC

9 - 30

功耗

W

< 2

電氣連接

FCC68 / RJ 45

信號輸出

Vout  = log 0.6 (Pmbar) + 6.8

2.0 to 8.668 / 2.0 to 8.667 [RS 232]

16

100

16

V DC

分辨率

bit

阻抗

Ω

刷新率

Hz

數字接口

N / A

設定點

調節范圍 mbar (Torr)

繼電器

繼電器觸點容量

繼電器觸點大阻值 mΩ

繼電器觸點短壽命

1.0 A@ 30  V DC load

0.2 A@ 30  V DC load

1.0 x 10-8 至 1000 (0.75 x 10-8 to 750)

0 / 3 [RS 232]

1 A @ 30 V AC/ DC, 電阻負載 [RS 232]

100 [RS 232]

100 000 [RS 232]

2 000 000 [RS 232]

狀態指示器

LED-環 (360°)

大電纜長度

mt

100

過壓范圍

bar

2

運行溫度范圍

°C (°F)

0 至 40 (32 至 104)

儲存溫度范圍

°C (°F)

-20 至 +65 (-4 至 149)

高溫烘烤溫度

(非運行狀態)

°C (°F)

85 (185)

大相對濕度

% n.c.

0 - 95

安裝方向

任意角度

與工藝氣體接觸的材料

304 不銹鋼, 403 不銹鋼, 陶瓷, 硅, 二氧化硅, 氮化硅, 錫, 金, 氟橡膠®, 鈦, 低釋氣率環氧樹脂

封閉空間 (DN 25 ISO-KF), 近似 cm3

28.6

重量 (DN 25 ISO-KF)

g

321

防護等級

IP

40

CE 認證

EMC 指令 2004/108/EC

控制器

DISPLAY oNE / TWo / THREE 和 GRAPHIX oNE / TWo / THREE