萊寶分子泵機組?中的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵簡介：

隨著真空技術和真空應用的發展，新的真空問題不斷涌。在這種情況下只是為客戶提供真空元部件已越來越不能滿足客戶的要求。
    萊寶公司作為一個專業的真空設備供應商，始終把為廣大客戶提供真空解決方案視為己任。在提供具有*秀品質的真空元部件的同時，還為客戶度身定做，提供既能滿足真空要求，又的*解決方案--真空泵組。
    RUTA 羅茨泵組的抽速由250到32000米³/小時，可以分為兩極泵組和多級泵組，極限真空度可達10^-4mbar，乃至更高。除標準產品外，根據不同工藝的需要，還可以為客戶專門設計定制應用于某些特殊用途的泵組，并在系統中加裝各種附件，如冷凝器、粉塵過濾器、真空計、真空閥、壓力控制元件，溫度控制元件等。另外，還可以耕具工藝過程，設計可實現全程自動控制的電控柜。

    萊寶分子泵機組?中的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規格，抽速自50至1100升/秒，極限真空度為＜10^-10mbar。
    其主要特點為：
    - 陶瓷軸承為脂潤滑，無維護運行時間長。
    - 允許任意角度安裝。
    - 有水冷和風冷兩種選擇。
    - 對H2的壓縮比大。
    - 無油真空泵，可用來產生潔凈的超高真空。

TW系列復合分子泵

抽速： 70 ～ 1600 升 / 秒
極限真空度： 10 － 9 mbar
zui大允許前級壓強： 6 ～ 14mbar
主要特點有：
- 轉子葉片為一次成型，消除了葉片應力，使得前級耐壓高達 14mbar ，并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風冷系統，使其在絕大多數工作條件下無需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設計，避免了連接變頻器帶來的不便。
- 模塊化的設計為用戶提供了多種選擇。
- 結構緊湊，可方便地安裝到復雜的系統中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動級耐粉塵能力強。
- 軸承為油脂潤滑，無維護運行時間長。
- 無油真空泵，可用來產生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護時提前預警。
- 通過通訊接口可以與掌上電腦， PC 或 PLC 聯絡，以讀取分子泵工作狀態的參數，以及儲存單元的運行記錄；并可根據需要對某些參數進行修改，如頻率等。
- 高前級耐壓降低了對前級泵的要求，使得系統總體造價降低。

 新一代數字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵

MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s
•  五軸定位雙端磁懸浮軸承系統，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
•  轉子采用高強度鋁合金，一次高速銑削成形，應力小，強度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉子葉片不易卷曲、打碎；轉子*運行溫度可高達 120 ℃ 。
•  轉子及定片均采用萊寶技術的 KAPLAR 涂層
•  較鍍鎳的轉子具有更強的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強的工藝氣體；
•  降低氣流與轉子葉片摩擦產生的熱量，降低轉子運行溫度，有利于延長轉子壽命；
•  葉片鍍 KAPLAR 的轉子較鍍鎳的轉子重量更輕。
•  保護軸承為陶瓷軸承，壽命長（ >600 次），無需更換保護軸承。
•  高真空端連接采用 ISO-F ，連接螺栓強度高，充分保障安全。
•  智能化電源，無需 UPS 。
•  帶拖動級，前級耐壓在 2mbar 以上。
•  分子泵運行溫度可調節，使其充分適應不同工藝制程。
•  的數字控制技術
•  運行速度、溫度可設置；
•  運行數據記錄存儲，提供多達 180 條運行信息；
•  磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數字化控制，信號處理速度快，系統反應時間短
•  轉子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉子動平衡變化時，磁場補償反應時間短；
•  在氣流長時間（ 2 分鐘以上）過大，而使泵負載過高，發熱量過大時，泵速會快速自動調節，使泵溫下降到正常水平。
•  控制器與泵無識別性，可互換。
•  免維護。
典型應用：
適用于
•  所有半導體主要制程：刻蝕、化學氣相沉淀及離子注入
•  科研領域
•  鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。

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