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MEMS光開關的工作原理

閱讀：1434 發布時間：2021-7-21

Exfo IQS-9100光開關串擾為-80 dB，具有一千萬次的使用壽命，是進行元件測試、帶狀光纖測試、多通道監測、遠程和多元件測試、信號路由和旁路開關的理想之選。
典型的MEMS光開關器件可分為二維和三維結構。
二維MEMS的空間旋轉鏡通過表面微機械制造技術單片集成在硅基底上，準直光通過微鏡的適當旋轉被接到適當的輸出端。微鉸鏈把微鏡鉸接在硅基底上，微鏡兩邊有兩個推桿，推桿一端連接微鏡鉸接點，另一端連接可平移梳妝電極。轉換狀態通過調節梳妝電極使微鏡發生轉動，當微鏡為水平時，可使光束從該微鏡上面通過，當微鏡旋轉到與硅基底垂直時，它將反射入射到它表面的光束，從而使該光束從該微鏡對應的輸出端口輸出。
三維MEMS的鏡面能向任何方向偏轉，這些陣列通常是成對出現，輸入光線到達第一個陣列鏡面上被反射到第二個陣列的鏡面上，然后光線被反射到輸出端口。

基本原理：
MEMS 4&mes;4光開關是OXC節點設備中的核心子系統之一。其在整個系統中負責將4種波長的光按照要求進行路由切換，以達到光交換的目的
MEMS光開關的優點在于光波路由的切換是通過外部控制信息以及相應的高低電平控制內部16塊微鏡片抬升與否來完成的。我們選用的MEMS光開關規定在控制信息的格式上，不管其內部有多少個微鏡片，都需要由一系列“1”和“0”組成的 64位串行數據來完成控制。
依據MEMS光開關的具體工作原理以及所需數字信號間的時序關系，所需的64位控制信息、以及其他信號（如CLK、ENA信號）可以由高速單片機來提供。

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MEMS光開關的工作原理

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