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技術線上論壇|12月15日《無掩膜光刻技術在生物芯片域的新應用》

時間:2021-12-13閱讀:2321

報告簡介:

 

在制備新型生物芯片器件時,通常會涉及到光刻工藝。而在諸多光刻技術中,無掩膜光刻技術因其*的勢和點,成為當前·為流行高效的種。與傳統掩膜版技術相比,無掩膜曝光技術具有高分辨、高對準精度、更加簡易操作等諸多勢,能夠輕松實現微米、亞微米精度的光刻、套刻。配合各類標準微加工工藝,能夠方便快捷地實現各類生物芯片器件的制備。在本報告中,將重點介紹無掩膜光刻技術新前沿進展,結合來自國內外以色列理工,IBM,復旦等科研單位在國際期刊發表的研究成果,探討無掩膜光刻技術在生物芯片域的應用。

 

直播二維碼:


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報告時間:

2021年12月15日 14:00(北京時間)

 

主講人:

喻博聞  博士

喻博聞博士,畢業于澳大亞昆士蘭大學機械與礦業學院,博士期間研究方向為微納機電器件中的界面問題,以及微納尺度操縱和加工技術。于2021年4月加入Quantum Design中國子公司表面光譜部門,負責微納加工相關產品在全國的應用開發、技術支持及市場拓展工作。


技術線上論壇:

https://qd-china.com/zh/n/2004111065734

 

 

相關產品:

1、小型臺式無掩膜光刻機- MicroWriter ML3

http://www.iqjiance.com/st166724/product_16839518.html

 

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