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光柵式示表檢定儀是利用光柵測長原理，把直線位移變成電信號，經前置放大、分相、整形、電子細分，將脈沖信號行記數和顯示，并利用微處理器行數據處理，zui后由微型打印機打印出檢定數據和結果。其框圖如下 。
光柵測長的原理是將光源發出的光，通過望遠系統變為平行光，照射到柵線面相對的透射式標尺光柵和示光柵上，當標尺光柵相對固定的示光柵沿柵線垂直方向移動時，則所產生的明暗相間的莫爾條紋沿柵線方向移動。兩塊光柵尺相對移動個柵距，莫爾條紋的光強周期地變化次，并掃過安放在示光柵前的四只光電元件，從而產生兩路正弦電信號，經電路系統處理后，變成脈沖信號。由于儀器測桿與標尺光柵剛性連接，故測桿位移L與脈沖信號的關系可用下式表達
L=A?N=
式中，A-脈沖當量;n-電路細分能力;k-光柵線紋密度;N-脈沖數。
脈沖當量是每個脈沖相當的位移尺寸。設n=100，k=100，N=1，則
L= ×1=0?1μm
上式說明，當采用100線光柵時，電信號經過100細分后，測桿每移動0?1μm，電路將給出個電脈沖。由微機記取脈沖數即可準確地得到被測尺寸大小。
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