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海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司

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供求商機(jī)

超平硅片(基底材料)

  • 發(fā)布日期:
  • 有效日期:
  • 所 在 地:
  • 產(chǎn)  地:
  • 已獲點(diǎn)擊:

  • 2025年7月13日
  • 2026年1月13日
  • 北京北京市
  • 美國(guó)
  • 257次

【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】

超平硅片(基底材料),常作為AFM基地片用在科學(xué)研究中。超平,直徑有100mm、150mm、200mm三種規(guī)格可選。


【詳細(xì)說明】

超平硅片(基底材料)

超平硅片(基底材料),常作為AFM基地片用在科學(xué)研究中。超平,直徑有100mm、150mm、200mm三種規(guī)格可選。

的一些參數(shù)如下:


4"

6"

8"

直徑

100 mm

150 mm

200 mm

向性

<100>

<100>

<100>

級(jí)別

P/Boron

P/Boron

P/Boron

Growth Method:

CZ

CZ

CZ

電阻率

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

厚度

525µm ±20µm

675µm ±20µm

725µm ±20µm

TTV:

<4.00µm

<4.00µm

<4.00µm

SFPD:

<2.0µm

<2.0µm

<2.0µm

Warp:

≤30µm

≤30µm

≤30µm

Bow:

≤30µm

≤30µm

≤30µm

微粒數(shù)

≤20@≥0.3µm

≤20@≥0.3µm

≤20@≥0.3µm

正面Front Surface

Polished

Polished

Polished

背面Back Surface

Etched

Etched

Etched

平整度Flat:

2 per SEMI Standard

1 per SEMI Standard

2 per SEMI Standard

Site Flatness:

<2.0µm

<2.0µm

<2.0µm

粗糙Roughness

Typically 2-3?

Typically 2-3?

Typically 2-3?

銷售信息:

貨號(hào)

產(chǎn)品名稱

規(guī)格

71893-01

Ultra-Flat Silicon Wafer, 4"

1

71893-02

Ultra-Flat Silicon Wafer, 6"

1

71893-03

Ultra-Flat Silicon Wafer, 8"

1



    
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